生长温度和表面增原子对外延薄膜中失配位错形成的影响
潘华清; 周耐根; 周浪
南昌大学材料科学与工程学院； 南昌大学材料科学与工程学院 江西南昌330031； 江西南昌330031；
PAN Hua-qing,ZHOU Nai-gen,ZHOU Lang(College of Materials Science and Engineering,Nanchang University,Nanchang 330031,China)
摘要 用分子动力学方法模拟了三维外延铝薄膜晶体中温度和表面增原子对失配位错形成的影响,采用的原子间相互作用势是嵌入原子法(EAM)多体势。模拟再现了薄膜中位错形成过程,结果分析表明:较高的温度和表面增原子团存在对薄膜中失配位错形成都有促进或诱发作用;模拟中观察到两种不同
关键词 ：
失配位错 ,
分子动力学 ,
薄膜 ,
表面增原子 ,
外延
Abstract ：Three-dimensional computer molecular dynamics simulation for growth temperature and facial adatom to effect of misfit dislocation formation in the epitaxial face-centered cubic crystal aluminum thin films has been carried out.An embedded atom method(EAM)
Key words ：
thin film
epitaxy
molecular dynamics；
misfit dislocation
facial adatom
出版日期: 2007-10-28
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2007, Vol. 31 