MgO－SnO_2薄膜乙醇气敏元件的研制
王晓俊; 邹道文; 傅敏恭
南昌大学高新技术研究所； 江西师范大学；
Wang Xiaojun;Zou Daowen;Fu Minggong(High-New Technology Research Institute,Nanchang University,Nanchang,330047;Jiangxi Normal University,Nanchang,330027)
摘要 采用真空镀锡膜、锡膜氧化，浸泡掺杂的方法研制了掺ＭｇＯ的ＳｎＯ＿２薄膜气敏元件，在对乙醇、丙酮等八种气体的测试结果表明：ＭｇＯ－ＳｎＯ＿２元件提高了对乙醇的灵敏度和选择性，而对其余气体的气敏特性同未掺杂元件相类似。实验发现，随着浸泡液浓度的增大，元件对乙
关键词 ：
气敏元件 ,
薄膜 ,
掺杂
Abstract ：The SnO2 thin-film gas sensor contaiming MgO2 has been studied,after Snevaporated in vacuum,Sn film oxided.The MgO-SnO2 gas sensor improves the sensitivityand selectivity to C2H5OH,and has low sensityvity and selectivity to C6H6,C4H(10,LPG,NH3coal gas,H2.
Key words ：
gas sensor；
thin-film
dope
出版日期: 1994-12-28
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1994, Vol. 18 