CaO-SnO_2薄膜乙醇气敏元件的研究
王晓俊; 邹道文; 傅敏恭; 欧阳文
南昌大学高新技术研究所； 江西师范大学；
Wang Xiaojun ①\ Zou Daowen ②\ Fu Minggong ①\ Ou’yang Wen ①(①High-New Technology Research lnstitute,Nanchang University,Nanchang,330047; ②Jiangxi Normal University,Nanchang,330027)
摘要 采用真空镀锡膜、锡膜氧化、浸泡掺杂的方法研制了掺ＣａＯ的ＳｎＯ２薄膜气敏元件。对乙醇、丙酮等８种气体的测试结果表明：掺ＣａＯ的气敏元件同未掺杂气敏元件相比，提高了对乙醇的灵敏度和选择性。提出了流过元件电流Ｉ的公式，对元件的敏感机理作了初步探讨
关键词 ：
气敏元件 ,
掺杂 ,
薄膜
Abstract ：The SnO 2 thin film gas sensor containing CaO has been studied,after Sn evaporated,in vacaum,Sn film oxided.The CaO-SnO 2 gas sensor improves the sensitivity and selectivity to C 2H 5OH.The formula of the electric current I which flows through the gas ser
Key words ：
thin-film
gas sensor；
dope
出版日期: 1997-03-28
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1997, Vol. 21 