氨对硅基铁纳米薄膜高温重凝核的影响
方利广; 赵勇; 俞进; 盛广沪; 郑军
南昌大学理学院； 南昌大学理学院 江西南昌330047； 江西南昌330047；
FANG Li-guang,ZHAO Yong,YU Jin,SHENG Guang-hu,ZHENG Jun(College of Science,Nanchang University,Nanchang 330047,China)
摘要 采用弧过滤离子沉积系统(arc filtered deposition,AFD)在纯硅表面制备铁纳米薄膜。研究了750℃下铁纳米薄膜在氢气氛围以及氨气氛围中重凝核的规律。研究表明,在氢气氛围中,铁纳米薄膜重凝核以后形成的铁纳米颗粒随薄膜的厚度增加以及保温时间的延长而增大;但在氨气氛围中,铁
关键词 ：
凝核 ,
氨 ,
纳米薄膜
Abstract ：Fe nano-films are deposited on pure Si wafer by arc filtered deposition(AFD) system.Re-nucleation of Fe nano-films in hydrogen and in ammonia at 750 ℃ are studied.The size of the re-nucleated nano-particles increases with the increment of the film thickn
Key words ：
nano-film
re-nucleation；
ammonia
出版日期: 2006-08-28
引用本文:
方利广; 赵勇; 俞进; 盛广沪; 郑军. 氨对硅基铁纳米薄膜高温重凝核的影响[J]. 南昌大学学报（理科版）, 2006, 30(04): 1-.
链接本文:
http://qks.ncu.edu.cn/Jwk_xblxb/CN/ 或 http://qks.ncu.edu.cn/Jwk_xblxb/CN/Y2006/V30/I04/1
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2006, Vol. 30 