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摘要 氧化锌ZnO由于其高激子束缚能等特点在光电器件等方面表现出广泛的应用，制备高质量ZnO薄膜并研究其发光性能有着重要的意义。本文通过MOCVD方法在不同晶面的蓝宝石衬底上生长了不同极性表面的ZnO薄膜。扫描电子显微镜和阴极射线荧光表征结果显示得到的ZnO薄膜结晶度较好，且H2刻蚀对得到平整的ZnO表面有着重要作用。光谱测量结果显示ZnO极性面的带边发光强度要明显高于非极性面，这一发光衰减和非极性面的表面缺陷直接相关。本文的对于研究ZnO薄膜外延生长有着重要的意义，有助于进一步的光电器件应用。
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| 关键词 ：
凝聚态物理,
ZnO薄膜,
蓝宝石衬底,
MOCVD,
阴极射线荧光
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| 基金资助:国家自然科学基金资助项目(62005112)~~； |
| [1] |
王剑宇王立. Al2O3忆阻器中氧空位对阻值转换性能的影响研究[J]. 南昌大学学报（理科版）, 2021, 45(3): 229-. |
| [2] |
王晓俊; 吴光辉; 邹建平; 欧阳文. ZnO薄膜光催化亲水防雾[J]. 南昌大学学报（理科版）, 2011, 35(05): 1-. |
| [3] |
赵勇; 俞进; 于鹏; 侯硕; 梁晓军; 方利广; 盛广沪. 退火温度对ZnO薄膜结构和内应变的影响[J]. 南昌大学学报（理科版）, 2011, 35(03): 1-. |
| [4] |
李璠; 李冬梅; 戴江南; 王立; 蒲勇; 方文卿; 江风益. 缓冲层厚度对Ti/Si模板上生长ZnO薄膜的影响[J]. 南昌大学学报（理科版）, 2007, 31(02): 1-. |
| [5] |
程海英; 王立; 方文卿; 蒲勇; 郑畅达; 戴江南; 江风益. MOCVD方法在Cu/Si(111)基板上生长ZnO薄膜[J]. 南昌大学学报（理科版）, 2006, 30(06): 1-. |
| [6] |
方芳; 王立; 方文卿; 蒲勇; 郑畅达; 苏宏波; 江风益. MOCVD方法在Ni/Si(111)模板上生长ZnO薄膜[J]. 南昌大学学报（理科版）, 2006, 30(01): 1-. |
| [7] |
江风益; 廖清华; 范广涵; 范希武. ZnSe-ZnS超晶格的量子尺寸效应[J]. 南昌大学学报（工科版）, 1992, 14(02): 1-. |
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