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摘要 以微波表面波形式激励的大气压放电等离子体能够在远离发生器的区域产生高密度等离子体且无需波导约束电磁波传输，从而提高了实际应用中微波耦合等离子体的处理效率和可操作性。本文介绍了表面波等离子体源的装置结构及其放电机制。基于等离子体发射光谱，利用Hα谱线的斯塔克展宽法和谱线-连续谱比值法分别诊断了等离子体中电子密度和温度，研究了脉冲调制等离子体在放电过程中电子密度和温度随瞬时功率、调制频率和轴向位置的变化规律，以及氩原子谱线强度的时间演化，并讨论了对电子密度和温度的影响机制以及等离子体余辉过程中激发态氩原子的产生机制。结果表明，等离子体电子密度可达～1015 cm-3且与局域微波耦合能量密度呈正相关，而电子温度受外部条件的影响相对较小，激发态氩原子主要由类似沙哈平衡过程控制。
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| 关键词 ：
大气压等离子体,
表面波,
发射光谱,
放电参数,
脉冲调制
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| 基金资助:国家自然科学基金资助项目（51806186）； 江苏省高等学校自然科学研究面上项目（20KJB140025）； 江苏省新型环保重点实验室开放基金（JBGS032）； 盐城工学院引进人才校级科研项目（XJR2020031）； 大学生创新创业项目（2021369）资助~~； |
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