GaAs/(Pd,Ti,Pd,Au)多层膜的退火扩散机制
罗广圣; 李长全; 钟文斌
南昌大学化学与材料科学学院!江西南昌330047；
LUO Guang-sheng,LI Chang-quan,ZHONG Wen-bin (Chemistry and Material Science School,Nanchang University,Nanchang 330047,China)
摘要 采用扫描俄歇电子能谱法 ,对GaAs/Pd( 50 )Ti( 4 0 0 )Pd( 4 0 0 )Au( 2 0 0 0 )在不同退火条件下多层膜间的扩散机制进行了研究 结果表明 ,薄膜与衬底结合较好 ,各层薄膜之间的扩散随退火温度的升高而更加充分 ,在 4 50℃以上退火后 ,各层薄膜之间发生了充分的扩散 ,并且薄膜
关键词 ：
退火 ,
扫描俄歇电子能谱 ,
扩散 ,
多层膜
Abstract ：The diffusion mechanism of GaAs/Pd(50 ?)Ti(400 ?)Pd(400 ?) Au(2 000 ?) in different annealing condition was studied by scanning Auger electron spectroscopy method.The following conclusions indicate that the thin films combine well with the base each other
Key words ：
scanning Auger electron spectroscopy
multi-layer films
diffusion；
anneal
出版日期: 2001-06-28
引用本文:
罗广圣; 李长全; 钟文斌. GaAs/(Pd,Ti,Pd,Au)多层膜的退火扩散机制[J]. 南昌大学学报（工科版）, 2001, 23(02): 1-.
链接本文:
http://qks.ncu.edu.cn/Jwk_xbgkb/CN/ 或 http://qks.ncu.edu.cn/Jwk_xbgkb/CN/Y2001/V23/I02/1
[1]
罗强王敏君. MR扩散加权成像对大鼠胰腺纤维化的诊断价值
[2]
党建武. 一类时间分数阶扩散方程的区域边界可观性
[3]
周小明； 赵辉； 朱正吼； 杜康. Fe73.5Cu1Nb3Si13.5B9非晶合金带材的压磁特性
[4]
谢安明； 丁耀军； . 一氧化碳中毒性脑病的MRI弥散加权成像表现与预后的关系
[5]
廖川荣； . 有可选加工路线的多产品生产车间机器布局优化设计模型分析
[6]
马林； 刘金有. 磁共振弥散加权成像对肝脏肿瘤的诊断价值
[7]
谭德生； 陈军苗. 2004～2009年深圳空气质量及其污染物扩散条件分析
[8]
王敏君； 张伟； 张宁； 彭德昌； 李五根； 李朸； 肖香佐. 3.0T磁共振扩散加权成像对肺部良恶性肿块的诊断价值
[9]
袁爱梅； 尹建华； 顾太富； 曾磊. MRI扩散加权成像及表观扩散系数在鉴别良、恶性淋巴结病变中的应用
[10]
赵勇; 俞进; 于鹏; 侯硕; 梁晓军; 方利广; 盛广沪. 退火温度对ZnO薄膜结构和内应变的影响
[11]
郑典模; 朱升干; 蒋文天; 戴健. 基于DLCA模型的絮凝过程模拟与应用
[12]
曾明如; 刘亮; 钱信; 游文堂. 扩散硅压力变送器的曲面拟合补偿
[13]
王淳; 龚娇龙; 李祥硕; 花宁. 基于链式遗传-模拟退火混合算法的电网扩展规划
[14]
钱雁平; 胡仁健; 余乐鹏; 张水先; 余文行. 磁共振扩散加权成像在肝脏占位病变中的应用
[15]
马力; 袁冠伟; 赖秀娟; 戚小平. 光纤束共焦显微成像
2001, Vol. 23 