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| 氢敏感钯栅MOS电容 |
| 钟仕科; 廖乐祥; 付敏恭 |
| 江西大学物理系； 江西大学化学系； |
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摘要 本文介绍了钯栅MOS电容的制作工艺及其对氢敏感的工作原理。采甩高频C—V特性测试法,得到了钯栅MOS电容在吸附氢原子前后的C—V曲线,结果表明,这种元件对氧具有较强的敏感性。最后,对影响结果的一些可能因素进行了简单的讨论。
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| 关键词 ：
氢原子,
内表面,
特性测试,
敏感性,
吸附,
气休,
氢敏感,
电容,
含氢气体,
钯栅
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出版日期: 1983-12-28
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1983, Vol. 7 