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摘要 以全氢聚硅氮烷(PHPS)作为前驱体制备的涂层在光电领域有较高的应用价值。介绍了PHPS分子结构和PHPS涂层的形成机理，搜集整理了PHPS涂层的期刊文献与专利文献，根据功能将PHPS涂层分为介电层、阻隔层、光学层，以及其他功能层，分析了不同功能涂层中PHPS结构、改性原料、制备方法、涂层结构等因素对涂层性能的影响，对PHPS涂层在我国应用现状进行总结并提出未来的展望。
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| 关键词 ：
全氢聚硅氮烷,
涂层,
光电,
专利
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| 基金资助:国家自然科学基金面上项目(21875096)； |
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