PECVD淀积工艺及室温NO_x气体传感器
廖清华; 江风益; 戴国瑞
江西工业大学; 吉林大学;
Liao Qinghua Jiang Fengyi (Jiangxi Polytechnic University)Dai Guorui (Jilin University)
摘要 本文介绍了用PECVD技术淀积NO_x敏感的工艺,并对典型工艺参数条件进行了讨论。我们淀积的这种NO_x敏感膜,不仅在旁热情况下对NO_x敏感,而且在室温条件下也能对NO_x气体敏感。最后,我们对室温NO_x气体传感器的一些重要性能指标进行了研究。
关键词 :
传感器 ,
薄膜 ,
PECVD
Abstract :The NO_xsensitive thin-film grown by PECVD technique is introduced in this paper, The correlations between the properties of the thin films and their tipical deposition conditions have been investigated. The thin-film is not only sensitive to NO_xgases du
Key words :
Thin-film
Sensors;
PECVD
出版日期: 1992-09-28
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