Nd_2O_3-SnO_2 薄膜气敏元件的研制
元美玲; 钟仕科; 陈悦明
南昌大学物理学系； 江西省电力学校；
Yuan Meiling\ Zhong Shike Chen Yueming (Physics Department,Nanchang University,Nanchang 330047)(Jiangxi Electric Power School,Nanchang 330032)
摘要 研究了Ｎｄ２Ｏ３－ＳｎＯ２复合薄膜气敏元件的制作工艺和敏感性能测量结果表明，这种元件对乙炔气体敏感，且具有选择性好、灵敏度高等优点
关键词 ：
乙炔 ,
气敏元件 ,
Nd2O3－SnO2薄膜
Abstract ：The manufacturing process and the gas sensing characteristics of the Nd 2O 3-SnO 2 thin films gas sensor were studied.The experimental results show that the sensor has not only sensitivity for C 2H 2,but also better selectivity and higher sensitivity.
Key words ：
gas sensor；
ethynle
Nd 2O 3-SnO 2 thin films
出版日期: 1997-12-28
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