薄膜应力快速测量系统的研制

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摘要采用激光干涉原理，ＣＣＤ摄像，计算机处理技术实现快速测量薄膜应力

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关键词 ：计算机处理, 激光干涉, CCD摄像

Abstract：This paper describes a rapid measuring method for thin film stress utilizing laser interferency,CCD photography and computer processing techiques.

Key words： CCD photography laser interference computer processing；

出版日期: 1997-06-28

引用本文:

罗庆芳; 郭述文; 李宝清; 邹道文; 夏至洪. 薄膜应力快速测量系统的研制[J]. 南昌大学学报（理科版）, 1997, 21(02): 1-.
Luo Ginfang\ Guo Shuwen\ LI Baoqing\ Zhou Daowen ①\ Xia Zihong(Department of Physics,Nanchang University,Nanchang,330047) (① Jiangxi Normal University,Nanchang,330027). . , 1997, 21(02): 1-.

链接本文:

http://qks.ncu.edu.cn/Jwk_xblxb/CN/ 或 http://qks.ncu.edu.cn/Jwk_xblxb/CN/Y1997/V21/I02/1