稀土-SnO_2薄膜气敏特性的研究
王晓俊; 傅敏恭; 王海源; 陈戬
南昌大学高新技术研究所;
Wang Xiaojun;Fu Mingong Wang;Haiyuan;Chen Jian(High-New Tech.Res.Inst.,Nanchang University,Nanchang 330047)
摘要 本文用真空镀锡膜、氧化和化学浸渍技术研制了稀土氧化物的Sno_2膜气敏元件,并测试了薄膜的气敏特性。掺杂元件改善了对乙醇、丙酮蒸气的灵敏度和选择性,而对苯、丁烷、液化石油气、NH_3、H_2和煤气等不敏感。
关键词 :
稀土氧化物 ,
气敏特性 ,
SnO_2 ,
薄膜
Abstract :The gas sensors have been manufactured by evaporating Sn in vacuum,oxiding Snfilm and immersing.The gas sensing property of earth-SnO2 thin film material was studied.The doped gas snensors improve the sensitivity and selectivity to CH3CH2OH,CH3COCH3and ha
Key words :
gas sensing;
thin film
earth
SnO2
出版日期: 1995-03-28
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