PFCVAD系统靶负压对硅基ZnO薄膜结构及应变的影响
于鹏; 赵勇; 马力; 盛广沪; 赖珍荃; 唐建成
南昌大学理学院； 南昌大学材料科学与工程学院；
YU Peng~a,ZHAO Yong~a,MA Li~a,SHENG Guang-hu~a,LAI Zhen-quan~a,TANG Jian-cheng~b(a.College of Science;b.College of Materials Science and Engineering,Nanchang University,Nanchang 330031,China)
摘要 采用磁过滤阴极脉冲真空弧沉积(pulsed filtered cathodic vacuum arc deposition,PFCVAD)系统,以Si(100)单晶片为衬底,在衬底温度300℃、氧气压力4.0×10-2Pa的条件下制备出了c轴择优取向的ZnO薄膜。通过原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)技术对ZnO薄膜的表征,研究了靶负压对
关键词 ：
应变 ,
ZnO ,
靶负压 ,
PFCVAD
Abstract ：ZnO thin films were prepared by pulsed filtered cathodic vacuum arc deposition system under various negative substrate bias on Si(100) at 300 ℃ and 4.0×10-2 Pa of oxygen pressure.The surface morphology,structural and strain properties of the ZnO thin fi
Key words ：
negative substrate bias
ZnO
strain；
PFCVAD
出版日期: 2009-04-28
引用本文:
于鹏; 赵勇; 马力; 盛广沪; 赖珍荃; 唐建成. PFCVAD系统靶负压对硅基ZnO薄膜结构及应变的影响[J]. 南昌大学学报（理科版）, 2009, 33(02): 1-.
链接本文:
http://qks.ncu.edu.cn/Jwk_xblxb/CN/ 或 http://qks.ncu.edu.cn/Jwk_xblxb/CN/Y2009/V33/I02/1
[1]
陈小珠； 刘淑军； 唐昌忠； 康文慧； 杨震. 三维斑点追踪超声心动图在评价心肌缺血严重性中的应用价值
[2]
汪和青； 刘伟平. 崩岗区岩土固结特性试验研究
[3]
涂盛辉； 刘婷； 朱细平； 洪小松； 梁海营； 杜军. CWPO法降解酸性大红GR模拟废水催化剂的制备
[4]
王先进；周欣；夏劲；汪玉琴；邓颖辉； . 经阴道超声弹性成像鉴别诊断宫颈占位性病变良恶性的价值
[5]
赵庆敏； 付艳恕. 非晶薄带组爆炸复合冲击响应数值分析与制备
[6]
章春泉；宋焱；陈丽；刘燕娜；李沿江；黄敏. 超声弹性应变率比值法诊断甲状腺结节良、恶性的价值
[7]
郭锐； 杨震宇. 低熔点玻璃CaO-ZnO-B_2O_3的制备及性能
[8]
张恒; 杨旭; 施斌; 周婷婷; 刘学; 郭照中. 循环疲劳实验中负荷方向对种植义齿部件松动度的比较
[9]
王晓俊; 吴光辉; 邹建平; 欧阳文. ZnO薄膜光催化亲水防雾
[10]
李颖毅; 陈伟凡; 沈鸿渠. F~-掺杂对ZnO荧光粉的光致发光强化
[11]
赵勇; 俞进; 于鹏; 侯硕; 梁晓军; 方利广; 盛广沪. 退火温度对ZnO薄膜结构和内应变的影响
[12]
杨垂玮; 魏明飞; 陈梦成; 黄模佳. 钨渗铜材料力学弹性性质的实验测量与物理模型计算
[13]
宋固全; 李永忠; 张纯. 损伤结构为基准态的单元模态应变能损伤识别
[14]
刘娟; 周爱云. 右室功能检测新技术——应变和应变率成像
[15]
汤冬梅; 邓林云. 应变率成像技术评价扩张型心肌病左心室功能的价值
2009, Vol. 33 