准分子激光加工与研磨加工Al_2O_3陶瓷表面形貌的比较
郭纪林; 刘莹; 蔡升勇; 李小兵; 余桂英
南昌大学机电工程学院； 南昌大学机电工程学院 江西南昌330031； 江西南昌330031；
GUO Ji-lin,LIU Ying,CAI Sheng-yong,LI Xiao-bing,YU Gui-ying(School of Mechanical and Electrical Engineering,Nanchang University,Nanchang 330031,China)
摘要 采用了准分子激光和研磨两种不同的加工方法,在微构件常用的Al2O3陶瓷材料表面构建表面微观形貌.通过表面轮廓仪测量加工试件表面形貌,采用自行研制的表面形貌参数表征系统进行表面形貌统计参数计算.分析不同加工方法对同一种材料表面形貌的影响,采用表面形貌统计参数中的轮廓
关键词 ：
准分子激光加工 ,
研磨加工 ,
表面形貌 ,
Al2O3陶瓷
Abstract ：Excimer laser texturing and grinding was performed on the surfaces of Al2O3 ceramic which is used regularly in MEMS.By the means of surface profile equipment,the machined surface was measured and the statistical parameter of surface topography was calcula
Key words ：
surface topography
grinding
Al2O3 ceramic；
excimer laser processing
出版日期: 2007-03-28
引用本文:
郭纪林; 刘莹; 蔡升勇; 李小兵; 余桂英. 准分子激光加工与研磨加工Al_2O_3陶瓷表面形貌的比较[J]. 南昌大学学报（工科版）, 2007, 29(01): 1-.
链接本文:
http://qks.ncu.edu.cn/Jwk_xbgkb/CN/ 或 http://qks.ncu.edu.cn/Jwk_xbgkb/CN/Y2007/V29/I01/1
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