C语言在椭圆偏振测厚技术计算中的应用
杜军; 徐丽金; 卢孟文
南昌大学环境与化学工程学院!江西南昌330029； 诚志股份有限公司草珊瑚分公司!江西南昌330002；
Du Jun Xu Lijin (Environmental and Chemical Engineering School,Nanchang University,Nanchang 330029,China) Lu Mengwen (Chengzhi Share-holding Co Ltd,Caoshanhu Branch,Nanchang 330002,China)
摘要 依据椭圆偏振法测定透明薄膜的有关数据 ,运用C程序语言 ,通过迭代程序设计 ,由计算机同时计算出薄膜厚度和折射率 结果表明 :薄膜折射率和厚度的测定误差分别小于 0 .2 %和 1nm 并克服了TP - 77型椭偏仪只能用于n≤ 2 .6透明材料测定的限制 ,实现了对诸如多晶硅等薄膜厚度和折
关键词 ：
折射率 ,
椭圆偏振测厚技术 ,
薄膜厚度 ,
C语言
Abstract ：In accordance with the correlative data of a transparent thin film determined by ellipsometry,the thickness and the refractive index of a transparent thin film are calculated simultaneously by the computational C program designed by iterative programming.
Key words ：
refrative index
C program
ellipsometry
film thickness；
出版日期: 2000-09-28
引用本文:
杜军; 徐丽金; 卢孟文. C语言在椭圆偏振测厚技术计算中的应用[J]. 南昌大学学报（工科版）, 2000, 22(03): 1-.
链接本文:
http://qks.ncu.edu.cn/Jwk_xbgkb/CN/ 或 http://qks.ncu.edu.cn/Jwk_xbgkb/CN/Y2000/V22/I03/1
[1]
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[5]
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[11]
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2000, Vol. 22 